Udvidet returret til d. 31. januar 2025

Computational Lithography - Xu Ma - Bog

af Xu Ma
Bag om Computational Lithography

This is the first book to address the optimization of resolution enhancement techniques in optical lithography. It provides an in-depth discussion of RET tools that use model-based mathematical optimization approaches.

Vis mere
  • Sprog:
  • Engelsk
  • ISBN:
  • 9780470596975
  • Indbinding:
  • Hardback
  • Sideantal:
  • 256
  • Udgivet:
  • 6. august 2010
  • Størrelse:
  • 160x241x18 mm.
  • Vægt:
  • 508 g.
  • Ukendt - mangler pt..

Normalpris

  • BLACK NOVEMBER

Medlemspris

Prøv i 30 dage for 45 kr.
Herefter fra 79 kr./md. Ingen binding.

Beskrivelse af Computational Lithography

This is the first book to address the optimization of resolution enhancement techniques in optical lithography. It provides an in-depth discussion of RET tools that use model-based mathematical optimization approaches.

Brugerbedømmelser af Computational Lithography



Find lignende bøger
Bogen Computational Lithography findes i følgende kategorier:

Gør som tusindvis af andre bogelskere

Tilmeld dig nyhedsbrevet og få gode tilbud og inspiration til din næste læsning.