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Aus den Besprechungen: "e;Der Autor wendet sich mit diesem Buch an Leser, die Halbleiterkomponenten herstellen wollen. Er versucht einen Mittelweg zu nehmen, indem er sich auf grundlegende Theorien abstutzt, aber auch technologische Prozesse beschreibt. Auch Schwierigkeiten, die entstehen, wenn neu entwickelte Technologien in die Produktion ubergefuhrt werden mussen, verschweigt er nicht. ..."e; #PTT Bulletin technique/Technische Mitteilungen# "e;... Dem Autor dieses Buches ist es gelungen, sowohl die grundlegenden Theorien als auch die technologischen Prozesse und Verfahren in einer lebendigen und eindrucksvollen Art zu behandeln. Das Buch wird viele Freunde finden."e; #Elin-Zeitschrift# "e;Das Buch schliet eine Lucke in der deutschsprachigen Literatur, die von Lehrenden und Lernenden und sicher auch von Praktikern stark empfunden wurde. Der Versuch des Verfassers, sich bei der Beschreibung der technologischen Prozesse nicht in Einzelheiten zu verlieren, vielmehr das Grundsatzliche herauszustellen und auch theoretisch abzustutzen, darf als gegluckt bezeichnet werden..."e; #AEU Archiv fur Elektronik und Ubertragungstechnik#
This is the first book to comprehensively record the authors' authoritative knowledge and practical experience of IC manufacturing, including the tremendous developments of recent years. With its strong application orientation, this is a must-have book for professionals in semiconductor industries.
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