Name: Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.
Price: 1122.95 DKK
Availability: InStock
Author: Stephan Altmannshofer
ISBN: 9783839614433

Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie. af Stephan Altmannshofer

Du sparer 0% ift. normalprisen Spar 0%

Paperback
2-4 uger
1.122,95 kr.

Bag om Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.

Vis mere

Sprog:
Tysk

ISBN:
9783839614433

Forlag:
Fraunhofer Verlag

Indbinding:
Paperback

Sideantal:
230

Udgivet:
18. marts 2019

Størrelse:
210x148x12 mm.

Vægt:
281 g.

Leveringstid: 2-4 uger.
Forventet levering: 18. december 2024

Normalpris

BLACK NOVEMBER
1.122,95 kr. + Fragt
~~1.122,95 kr.~~

Medlemspris

1.072,95 kr.

Prøv i 30 dage for 45 kr.
Herefter fra 79 kr./md. Ingen binding.

Bag om Stephan Altmannshofer

Vis alle bøger af Stephan Altmannshofer

Beskrivelse af Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.

Brugerbedømmelser af Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

Andre købte også..

Find lignende bøger

Bogen Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie. findes i følgende kategorier:

Business og læring

Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie. - Stephan Altmannshofer - Bog

Bag om Stephan Altmannshofer

Beskrivelse af Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

Brugerbedømmelser af Mikrowellenplasmaunterstutzte Prozesse fur Anwendungen in der Halbleitertechnologie.

Gør som tusindvis af andre bogelskere